EBARA ESR系列真空泵維修

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產品名稱: EBARA ESR系列真空泵維修

產品型號: ESR100WN

產品展商: EBARA真空泵維修

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簡單介紹

蘇州曼特萊精密電子有限公司提供EBARA ESR100WN真空泵維修以及各類進口真空泵維修。配件確保原裝進口，物美價廉。

EBARA ESR系列真空泵維修 的詳細介紹

ESR系列是新研發的應用廣泛的羅桿式干式真空泵，對于L/L，SEM等較輕負荷的制程和腐蝕性制程都可以使用。性能上具有排氣速度可調節，高通信處理功能，從而適應了省功耗，占地面積小，重量輕的工藝要求。

特點:

● *適合用于輕負荷的制程及腐蝕性氣體制程

● 較低的運行成本，省功耗，*大可節省60%（與本公司AA系列相比較）

● 無需N2來做軸密封（ESR20N）

● 小型化，重量輕，*大減少40% （與本公司AA系列相比較）

● 增加泵的轉速控制

● 高性能的通信機能

● 采用高度控制泵的運轉方式

ESR Series
Specifications	Unit	ESR20N	ESR80WN	ESR200WN	ESR300WN
Pumping Speed 50/60 Hz 抽氣速度	CFM	46 - 71	141 - 300	353 - 706	1059
	L/min	1300 - 2000	4,000 - 8,500	10,000 - 20,000	30,000
	M3/Hr	78 - 120	240 - 510	600 - 1,200	1,800
Ultimate Pressure 50/60 Hz 底壓	mTorr	5	1.5	1	1.5
	Pa	0.67	0.2	0.13	0.2
	mBar	0.0067	0.002	0.0013	0.002
Connection 接口	Gas Inlet	NW 40	NW 50	ISO100	NW 100
Connection 接口	Gas Outlet	NW 40	NW 40	NW 40	NW 40
Power at Ultimate Pressure 到達底壓時的功率	KW	0.55 - 0.70	0.8 - 1.9	0.8 - 1.1	2.9
Maximum Power *大功率	KW	2.5	4.5	5	7.5
Cooling Water Requirements 冷卻水要求	Min. Flow Rate	2	2	2	3.5
Cooling Water Requirements 冷卻水要求	L/min	2	2	2	3.5
Bearing and Dilution N2 隔離和稀釋N2	Bearing Seals	0 to 12	2 to 12	2 to 12	2 to 12
Bearing and Dilution N2 隔離和稀釋N2	L/min	0 to 12	2 to 12	2 to 12	2 to 12
Cabinet Dimensions	inches	25 x 11 x 12.6	26 x 15 x 25.8	31.1 x 15 x 25.8	33 x 19 x 35
LxWxH 外型尺寸	mm	635 x 280 x 320	660 x 380 x 655	790 x 380 x 644	(825 x 460 x 880)
Weight 重量	lbs	200	400	520	860
Weight 重量	kg	90	180	250	390

產品名稱：EBARA ESR100WN真空泵維修

蘇州曼特萊精密電子有限公司主營：
一、進口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
5、EBARA(荏原)：ESA系列、ESR系列、EST系列、A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列，EBARA ESR100WN真空泵維修等
6、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
7、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
8、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
9、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
10、ULVAC(愛發科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
11、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。

二、進口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵專用維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(荏原)、KASHIYAMAORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS專用真空油、ADIXEN專用真空油等。

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